Parts Cleaning umfasst im Allgemeinen das Zerlegen der Equipmentteile in Einzelkomponenten, deren sorgfältige Reinigung und den anschließenden Zusammenbau:

• Ausbau und Zerlegen der Maschinenteile in Einzelkomponenten
• Chemische oder mechanische Reinigung
• Verschleißüberprüfung und Komponententausch
• Zusammenbau und Qualitätsprüfung
• Einbau und Komplettierung im Fertigungsequipment

Für all diese Leistungen und Teilbereiche gibt es spezialisierte Unternehmen am Markt, die auf mehr oder weniger Know-how zurückgreifen können.

Die Herstellung von Mikrochips ist sehr verschleißanfällig und erfordert oft, dass ganze Equipment-Teile sowie hochsensible Maschinenkomponenten regelmäßig gewartet und regeneriert werden müssen.

„Parts Cleaning“, auch als „Teilereinigung“ oder „Regenerierung“ bekannt, ist in jedem Halbleiterunternehmen ein wesentlicher Bereich zur Unterstützung einer effizienten Fertigung.

Als international tätiger Spezialist für Reinraumtechnik haben wir uns auch umfassend mit dem Bereich Parts Cleaning beschäftigt. Seit vielen Jahren sind wir mit einem hochspezialisierten Team bei unserem Kunden Infineon Villach tätig.

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